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        碳化硅懸臂槳的設計特點及用途有哪些?

        2020-07-18 13:53

          碳化硅懸臂槳,也稱為碳化硅棒反應燒結碳化硅懸臂漿料,是半導體晶片裝載系統的關鍵部件。懸臂漿料性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓加載力大,適用于機器人自動加載和搬運系統;

          碳化硅懸臂槳的設計特點:

          1、在高溫環境下不變形,晶片裝載力大;

          2、耐極冷急熱,使用壽命長;

          3、懸臂漿熱膨脹系數極小,極大地延長了維護清洗的周期;

          4、碳化硅懸臂槳大幅減少污染物;

          碳化硅懸臂槳的用途:

          1、碳化硅懸臂漿料主要用于光伏行業。光伏新能源產業用碳化硅懸臂梁漿料的主要規格有2378毫米、2550毫米、2660毫米等;

          2、應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中,對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用;

          3、碳化硅懸臂槳漿性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載力大,適用于機器人自動裝載和搬運系統;

          4、由于碳化硅懸臂漿截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能;

          5、碳化硅懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近,應用于LPCVD,極大地延長了維護清洗的周期,并大幅減少污染物

          總之,碳化硅懸臂槳具有高強度、高純度、 高導熱、無氣孔、耐酸堿腐蝕、高溫下無污染、不變形及良好的抗熱震穩定性、載重量大等特點,避免了與爐管的直接接觸,延長了爐管的使用壽命,解決了其它材質懸臂槳易斷裂,載重量小,成本高的問題。目前,現有技術中碳化硅懸臂槳的制作工藝非常復雜,并且每個廠家的工藝都有所不同,且碳化硅懸臂槳的合格率低,而造成碳化硅懸臂槳成本高;

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