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    about

    碳化硅懸臂槳/光伏懸臂槳

    時間:2020-11-22 作者:admin 來源:本站

    反應燒結碳化硅懸臂漿,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。光伏新能源行業用的碳化硅槳,主要規格2378,2550,2660、3560、3580、3750毫米等,應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中,對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用。
      懸臂漿性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載力大,適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂漿截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近,應用于LPCVD,極大地延長了維護清洗的周期,并大幅減少污染物。
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